图书介绍
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- 田文超，娄利飞编著 著
- 出版社： 西安：西安电子科技大学出版社
- ISBN：9787560633350
- 出版时间：2014
- 标注页数：412页
- 文件大小：63MB
- 文件页数：424页
- 主题词：微电机
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图书目录
第1章 MEMS概述1
1.1 MEMS的概念1
1.2 MEMS研究现状6
1.3 MEMS的特点和存在的问题14
参考文献25
第2章 MEMS材料30
2.1 硅及其化合物30
2.1.1 硅30
2.1.2 硅化合物38
2.2 陶瓷39
2.3 聚合物41
2.4 金属45
2.4.1 磁致伸缩金属45
2.4.2 形状记忆合金46
2.5 凝胶47
2.6 电流变体48
2.6.1 电流变体定义48
2.6.2 电流变体组成48
2.6.3 电流变体应用49
2.7 新兴材料50
2.7.1 石墨烯50
2.7.2 碳纳米管59
2.7.3 金刚石70
2.7.4 硅烯78
参考文献79
第3章 MEMS工艺82
3.1 传统超精密和特种微细加工技术82
3.1.1 传统超精密微加工技术82
3.1.2 特种微细加工技术85
3.2 硅微机械加工技术107
3.2.1 MEMS常用IC工艺107
3.2.2 表面微加工技术120
3.2.3 体微加工技术123
3.3 键合技术133
3.4 LIGA技术145
3.4.1 标准LIGA技术146
3.4.2 准LIGA技术148
3.4.3 其他相关LIGA技术157
参考文献163
第4章 MEMS典型器件165
4.1 微传感器与微执行器165
4.1.1 MEMS微传感器167
4.1.2 微执行器177
4.2 微加速度计184
4.2.1 线微加速度计186
4.2.2 差动电容微加速度计186
4.2.3 跷跷板式微加速度计188
4.2.4 三明治式微加速度计190
4.2.5 梳齿式微加速度计192
4.2.6 MEMS微加速度计研究方向195
4.3 微陀螺仪197
4.3.1 陀螺仪原理198
4.3.2 MEMS陀螺仪201
4.3.3 进一步提高MEMS陀螺仪的性能219
4.4 微谐振器220
4.4.1 梳状谐振器221
4.4.2 梁式谐振器221
4.4.3 盘式谐振器222
4.4.4 薄膜体声波谐振器224
4.4.5 腔结构微机械谐振器226
4.4.6 声表面波谐振器226
4.4.7 谐振器性能比较228
4.5 数字微镜229
4.5.1 DMD原理229
4.5.2 数字微镜的应用233
参考文献236
第5章 MEMS应用239
5.1 MEMS技术在汽车工业中的应用240
5.1.1 汽车安全系统241
5.1.2 监测轮胎气压系统243
5.2 MEMS技术在军事领域的应用248
5.2.1 微飞行器249
5.2.2 微惯性导航系统251
5.2.3 纳米武器254
5.3 MEMS技术在医学中的应用255
5.3.1 微创内窥镜系统256
5.3.2 特定部位药物释放药丸260
5.3.3 消化道采样及参数监测系统261
5.3.4 精微外科和软组织外科手术262
5.4 MEMS在光通信中的应用264
5.4.1 全光通信264
5.4.2 光开关266
5.5 MEMS技术在航空航天中的应用277
5.5.1 微纳卫星277
5.5.2 太空望远镜调整系统279
5.6 MEMS技术在手机中的应用281
5.6.1 手机加速度计282
5.6.2 MEMS麦克风283
5.6.3 远程信息处理284
5.6.4 多频段手机284
5.6.5 微型投影技术287
5.6.6 手机陀螺仪289
5.6.7 MEMS在手机中的前景290
5.7 MEMS技术在家用电器中的应用291
5.8 生物芯片296
5.8.1 微阵列生物芯片297
5.8.2 微流体生物芯片297
5.8.3 流体技术300
5.8.4 检测技术及装置300
5.8.5 DNA测序与药品研制302
5.9 MEMS技术在物联网中的应用302
参考文献305
第6章 RF MEMS及重构天线308
6.1 RF MEMS309
6.2 RF MEMS的应用310
6.2.1 MEMS移相器310
6.2.2 MEMS滤波器315
6.2.3 其他RF MEMS应用318
6.3 RF开关320
6.3.1 RF MEMS开关分类322
6.3.2 悬臂梁结构电阻接触式RF开关323
6.3.3 电容耦合式RF开关326
6.4 重构天线的概念328
6.5 重构天线研究现状330
6.6 重构天线分类334
6.6.1 改变天线单元结构334
6.6.2 控制馈电网络338
6.7 频率重构339
6.8 方向图重构345
6.9 频率和方向图同时重构349
6.10 极化可重构微带天线351
参考文献361
第7章 MEMS力学问题366
7.1 梁的力学问题366
7.1.1 应变和应力366
7.1.2 梁的弯曲变形367
7.2 膜的力学问题370
7.2.1 薄膜弯曲370
7.2.2 周边固支圆形薄膜弯曲371
7.2.3 周边固支矩形薄膜弯曲372
7.3 静电力373
7.3.1 分离变量法级数解373
7.3.2 保角变换近似解374
7.3.3 考虑极板厚度时的边缘效应374
7.3.4 非平行极板电容静电力375
7.4 范德瓦耳斯力377
7.4.1 偶极子电场378
7.4.2 离子与偶极间作用力379
7.4.3 偶极相互作用380
7.4.4 角平均的偶极相互作用381
7.4.5 偶极-诱导作用381
7.4.6 伦敦（London）-范德瓦耳斯力382
7.4.7 范德瓦耳斯力385
7.4.8 物体间的范德瓦耳斯力386
7.5 MEMS阻尼387
7.5.1 气体阻尼387
7.5.2 稀薄气体阻尼400
7.6 Casimir力402
7.6.1 Casimir力的背景403
7.6.2 Casimir力404
7.6.3 金属板间Casimir力405
7.6.4 Casimir力对MEMS的影响407
参考文献410