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（一）真空概念1

（二）真空度及测量单位1

目录1

第一章 真空基础1

一、真空概念和测量单位1

三、大气3

二、真空区域划分3

四、真空技术术语（GB/T3163—93）5

（一）真空泵43

五、真空技术系统图用图形符号（GB/T3164—93）43

（二）真空阀门44

（三）挡板45

（六）真空管路及其连接46

（五）除尘、过滤器46

（四）阱46

（七）压力测量仪表47

（九）符号应用示例48

（八）真空容器48

（一）理想气体49

六、理想气体的基本定律及状态方程49

（三）理想气体的基本定律及状态方程50

（二）气体分子运动论的基本假设50

（四）蒸气51

（二）理想气体的质量52

（一）理想气体的压力52

七、理想气体的压力、质量和密度52

（一）麦克斯韦速度分布定律54

八、气体分子热运动速度54

（三）理想气体的密度54

（五）气体中的声速55

（四）均方根速度vs55

（二）最可几速度vm55

（三）算术平均速度v55

（一）气体分子间的碰撞56

九、气体分子碰撞次数56

（二）气体分子与容器壁碰撞57

（三）蒸发、凝结与饱和蒸气压58

（一）单一气体分子的平均自由程59

十、气体分子的平均自由程59

（三）多种气体混合时的平均自由程60

（二）两种气体混合时的平均自由程60

（六）平均自由程与温度的关系61

（五）在气体中运动的离子的平均自由程61

（四）在气体中运动的电子的平均自由程61

（一）平衡态与非平衡态及非平衡态下的输运过程62

十一、常压下气体的迁移过程62

（七）分子自由程的分布规律62

（三）气体的内摩擦（粘滞性）63

（二）迁移方程63

（四）气体的热传导64

（五）气体的扩散65

（一）中压下的滑动现象73

十二、中、低压下气体的迁移过程73

（三）低压下的热流逸现象75

（二）低压下气体的外摩擦（自由分子的粘滞性）75

（四）中压下的温度剧增（温度跃变）现象76

（五）低压下气体的自由分子热传导77

（二）吸附的基本概念78

（一）固体与气体的相互作用78

十三、吸附78

（三）吸附的平衡状态——吸附等温线79

（四）吸附的非平衡状态——吸附和解吸速率84

（一）气体的电离88

十四、低压下的气体放电现象88

（二）气体放电90

（三）辉光放电93

（四）弧光放电94

（七）高频放电95

（六）电晕放电95

（五）火花放电95

（八）潘宁放电96

二、流量单位98

一、气体流量、流阻、流导的基本公式98

第二章 管道流导计算98

三、应用列线图和曲线计算管道串联时的流导和泵的有效抽速99

（二）粘滞流100

（一）湍流100

四、气体沿管道的流动状态100

（五）湍流与粘滞流的判别101

（四）粘滞—分子流101

（三）分子流101

五、粘滞流时孔的流导102

（六）粘滞流、粘滞—分子流和分子流的判别102

（一）圆孔103

六、分子流时孔的流导103

（二）矩形薄壁窄缝104

（四）缩孔105

（三）管道中隔板上的小孔105

（二）矩形及正方形圆截面短管106

（一）圆截面长管106

七、粘滞流时管道的流导106

（三）截面管道108

（五）偏心圆环109

（四）环形截面管道109

（七）径向辐射流结构流导110

（六）椭圆形截面管道110

（八）各种气体的流导关系111

（二）圆截面短管112

（一）圆截面长管112

八、分子流时管道的流导112

（三）环形截面管道114

（五）锥形管道115

（四）椭圆形截面管道115

（七）矩形管道116

（六）扁缝形管道116

（九）变截面及匀截面管道117

（八）等边三角形截面管道117

（十一）径向辐射流结构的流导118

（十）弯管118

（十二）各种气体的管道流导关系119

九、分子流、粘滞流时对20℃空气，孔和管道的流导汇总表120

（一）圆截面管道122

十、粘滞—分子流时管道的流导122

十一、以克劳辛系数计算管道流导123

（二）矩形截面管道123

十二、挡板的流导124

十三、用传输概率计算流导126

（一）两截面相同的管道串联130

十四、分子流下复杂管路的流导和传输概率130

（四）两管道中间有小孔时管路传输概率131

（三）管道与小孔组合后的传输概率131

（二）两截面相同的管道中间连接一个大容器131

（五）两个截面不同的管道串联后的传输概率132

（一）真空泵型号组成133

一、真空泵型号编制方法133

第三章 机械真空泵133

（一）概述134

二、往复式真空泵134

（二）真空泵型号示例134

（三）型式与基本参数（摘自JB/T 7675—95）135

（二）结构原理135

（四）国产往复真空泵的技术性能、外形及安装尺寸136

（五）WL系列立式节能往复真空泵140

（二）工作原理145

（一）概述145

三、液环式真空泵145

（三）型式与基本参数（摘自JB/T 7255—94）146

（四）国产水环式真空泵的技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸148

（二）工作原理171

（一）概述171

四、水环—大气喷射真空泵组171

（三）国产水环—大气喷射真空泵组技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸172

（二）工作原理176

（一）概述176

五、油封式旋转机械真空泵176

（三）油封式旋转机械真空泵行业标准178

（四）国产2X型旋片式真空泵的技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸181

（五）国产XD、X系列单级旋片式真空泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸192

（六）国产直联旋片式真空泵的技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸196

（七）国产2H型滑阀式真空泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸205

（一）概述222

六、罗茨式真空泵222

（三）ZJ型罗茨真空泵的型式和基本参数（摘自ZB/T 7674—95）223

（二）工作原理223

（四）国产罗茨泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸224

（一）概述245

七、涡轮分子泵245

（三）立式涡轮分子泵行业标准（摘自JB/T 9125—99）246

（二）涡轮分子泵结构原理246

（四）国产F型立式涡轮分子泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸249

八、干式真空泵257

（一）概述257

（二）干式旋片真空泵259

（三）爪式真空泵260

（四）涡旋式真空泵265

（五）螺杆式真空泵267

九、机械真空泵性能测试标准268

（一）容积真空泵性能测试方法（摘自JB/T 7266—94）268

（二）容积真空泵噪声测量方法（摘自JB/T 8106—99）273

（三）旋片式真空泵性能测试方法（摘自JB/T 6533—97）278

（四）滑阀式真空泵性能测试方法（摘自JB/T 1246—97）281

（五）涡轮分子泵性能测试方法（摘自GB7774—87）287

（六）罗茨真空泵性能测试方法（摘自JB/T 7674—95）290

（七）往复真空泵性能测试方法（摘自JB/T 7675—95）292

二、水蒸气喷射真空泵297

（一）应用范围297

（二）结构简述297

一、概述297

第四章 蒸气流真空泵297

（三）工作原理298

（四）水蒸气喷射泵真空的几个重要参数300

（五）水蒸气喷射真空泵设计要点301

（六）水蒸气喷射真空泵型式及基本参数（摘自JB/T8540—97）309

（七）国产水蒸气喷射真空泵技术性能310

（一）概述325

（二）结构原理325

三、油扩散喷射真空泵325

（三）油扩散喷射真空泵的抽气特性326

（四）油扩散喷射真空泵的设计计算328

（五）国产Z型系列油扩散喷射真空泵主要技术性能、特性曲线及外形尺寸332

四、油扩散真空泵340

（一）概述340

（二）结构原理341

（三）影响油扩散泵性能的因素341

（四）提高油扩散泵极限真空的方法342

（五）用油扩散泵获得超高真空的方法343

（六）金属油扩散泵的设计344

（七）蒸气流真空泵行业标准（摘自JB/T 7265—2003）350

（八）国产K、KT型系列高真空油扩散泵主要技术性能、特性曲线及外形连接尺寸353

（九）蒸气流真空泵性能测试方法（摘自JB/T8272.1—96）381

一、钛泵391

（一）概述391

第五章 气体捕集真空泵391

（二）升华钛泵和蒸发钛泵392

（三）弹道式钛泵398

（四）溅射离子泵400

二、低温泵414

（一）概述414

（二）低温泵的分类415

（三）低温泵的抽速416

（四）低温泵的极限压力420

（五）低温泵的热负荷421

（六）低温泵的启动时间423

（七）低温泵的工作时间423

（八）深冷霜吸气现象424

（九）小型制冷机低温泵425

三、低温容器432

（一）概述432

（二）低温容器的热流量计算433

（三）液氮生物容器（摘自GB 5458—85）438

（四）自增压式液氮容器（摘自ZBB 42004—87）440

（五）国产低温容器的技术性能440

四、分子筛吸附泵442

（一）概述442

（二）分子筛吸附泵的结构445

（三）分子筛吸附泵的计算446

（四）影响分子筛吸附泵性能的因素447

（五）分子筛在温度20K以下工作时的吸附性能449

（六）分子筛用作干燥剂的性能450

五、锆铝吸气泵451

（一）概述451

（七）国产分子筛吸附泵主要技术参数451

（二）锆铝吸气剂泵结构及抽气原理452

（三）锆铝吸气带的工作特性454

（四）锆铝吸气泵性能参数的选择456

二、静密封459

一、概述459

（一）橡胶密封459

第六章 真空密封459

（二）氟塑料密封478

（三）金属密封480

（四）真空法兰、真空规管接头486

三、动密封531

（一）动密封型式531

（二）真空动密封型式及尺寸533

（三）金属波纹管密封547

（四）液态金属密封556

（五）磁力传动密封557

（六）磁流体密封562

第七章 真空元件589

一、真空阀门589

（一）概述589

（二）真空阀门的一般结构原理589

（三）真空阀门的型号编制、型式及基本参数590

（四）国产真空阀门型式、性能参数599

（二）挡板648

二、挡油帽、挡板和冷阱648

（一）挡油帽648

（三）阱654

三、观察窗、电极引入665

（一）观察窗665

（二）电极引入668

（一）概述676

一、真空室676

（二）真空室的门676

第八章 真空室设计676

（三）真空室的水冷678

（三）壁厚的附加量679

（二）设计压力679

（四）容器的最小壁厚679

（五）许用应力679

（一）薄壳679

二、真空室强度计算的一般知识679

（六）焊缝系数680

（七）开孔削弱系数681

（八）压力试验681

三、真空室壳体设计682

（一）圆筒形壳体682

（二）球形壳体685

（三）锥形壳体685

（四）盒形壳体686

（五）椭圆球形壳体691

（六）环形壳体692

四、国家标准（GB150—98）中外压圆筒和球壳壁厚计算公式694

（一）外压圆筒和外压管子694

（二）外压球壳695

（一）概述705

（二）图表法计算加强圈705

五、圆筒体加强圈的设计705

六、封头强度计算706

（一）外压球形封头706

（二）外压凸形封头707

（三）锥形封头708

（四）平盖708

（五）与圆筒体连结的加强球盖712

（六）井字加强圆形球盖714

七、封头标准715

（一）钢制压力容器用封头标准（摘自JB/T4746—2002）715

（二）封头内表面积、容积及质量721

（三）封头内表面积、容积及质量计算750

（一）概述753

（二）封头开孔补强753

八、开孔加强设计753

（四）内压圆筒体开孔补强755

（五）开孔补强计算755

（三）外压容器的开孔补强755

（六）并联开孔的补强756

（七）补强方法756

（八）补强图标准（摘自JB/T 4736—2002）…………………九、法兰及管道设计761

（一）螺栓计算761

（二）内压法兰计算764

（三）外压法兰计算766

（四）管道壁厚计算767

第九章 真空系统设计769

一、真空系统设计中的主要参数769

（一）真空室的极限压力769

（二）真空室的工作压力770

（三）真空室抽气口处泵的有效抽速771

二、抽气时间计算773

（一）粗真空、低真空下抽气时间计算773

（二）高真空下抽气时间计算776

（三）真空室压力下降至初始压力的？、？和？时的抽气时间778

三、出气对真空系统的影响778

（一）局部出气时对稳定过程或瞬变过程计算的影响778

（二）均匀出气条件下，细长真空室内压力分布779

四、选泵及配泵780

（一）主泵选择及抽速计算780

（二）前级泵的配置及抽速确定781

（三）粗抽泵抽速确定782

（一）确定真空室中保持1.3×10-3Pa的工作压力所需要的真空系统的有效抽速S783

（二）根据要求的工作压力及使用要求，选油扩散泵作为主泵783

五、计算实例783

（三）计算扩散泵与真空室排气口间管路的流导，验证选K-600型扩散泵是否合适784

（四）计算前级真空管路流导785

（五）计算抽气时间785

（一）超高真空与高真空系统设计786

（二）材料选择786

六、超高真空系统设计786

（三）表面化学清洗及烘烤787

（四）抽气技术787

（五）超高真空装置实例789

七、真空机组792

（一）低真空抽气机组792

（二）高真空抽气机组795

（三）超高真空抽气机组796

（一）概述797

（二）罗茨真空泵机组标准（JB/T 6921—93）摘选797

八、罗茨真空泵机组797

（三）国产罗茨真空泵机组技术性能、曲线、外形尺寸801

九、扩散泵真空机组818

（一）概述818

（二）国产扩散泵真空机组外形尺寸与基本参数819

一、真空镀膜834

（一）概述834

第十章 真空装置834

（二）真空蒸发镀膜835

（三）蒸发卷绕式镀膜机845

（四）真空溅射镀膜847

（五）离子镀膜856

（六）化学气相沉积（CVD）制作薄膜865

（七）各种化合物薄膜及形成方法875

（八）真空镀膜设备国家标准879

（九）国产真空镀膜设备概况885

（一）概述896

（二）独立束源快速换片型分子束外延设备896

二、分子束外延设备896

（三）对真空的要求897

（四）清洁的超高真空抽气系统897

（五）几个重要部件的真空问题898

三、离子束刻蚀技术899

（一）概述899

（二）工作原理900

（三）技术性能901

（四）结构特点901

（五）离子源及真空系统设计要点906

（六）电源和控制系统设计要点910

（七）离子束刻蚀工艺912

（八）国内外离子束刻蚀机概况915

（一）概述918

（二）热真空模拟试验设备918

四、空间环境模拟设备918

（三）亚暴环境模拟设备930

（四）X射线望远镜空间环境模拟检测装置933

（五）空间辐射制冷器用小型环境模拟设备935

（六）空间辐射环境模拟设备936

（七）涂层材料综合环境模拟设备936

（八）冷焊模拟设备938

（九）轴承真空试验设备938

（十）超高真空防冷焊评价试验设备939

（十一）宇航员训练试验设备941

（十二）固体火箭发动机点火模拟设备943

（十三）激光点火模拟设备943

（十四）火箭发动机高空试车台944

（十五）姿态调整火箭高空试车台946

（一）概述947

（二）真空电阻炉947

五、真空冶金炉947

（三）真空电子束炉956

（四）真空电弧炉960

（五）真空感应炉965

（六）真空炉产品973

（一）概述974

（二）钢液真空脱气及排除夹杂原理974

六、钢液真空脱气处理974

（三）钢液真空处理方法975

（四）钢液处理设备设计978

七、真空热处理炉984

（一）概述984

（二）真空退火985

（三）真空淬火987

（四）伊普森真空热处理炉990

（五）HBV-200型高压真空气淬炉991

八、辉光离子氮化993

（一）概述993

（六）真空渗碳炉993

（二）工作原理994

（三）辉光离子氮化炉994

（四）D30型辉光离子氮化炉996

九、真空钎焊997

（一）概述997

（二）真空钎焊原理998

（三）真空钎焊设备1000

（四）真空铝钎焊设备1003

十、真空电子束焊1004

（一）概述1004

（二）电子束焊原理1005

（三）电子束焊设备1007

（四）低真空电子束焊机的真空系统1009

十一、真空冷冻升华干燥1010

（一）概述1010

（二）冷冻升华干燥原理1011

（三）食品冷干设备1012

（四）真空冷冻升华干燥工艺1013

（五）食品冻干机与医药冻干机设计差异1023

（一）概述1026

（二）真空预冷保鲜1026

十二、果蔬食品的真空保鲜1026

（三）真空包装保鲜食品1031

（四）真空气体置换保鲜1035

（五）真空包装材料1038

（二）台式真空包装机1042

（一）概述1042

十三、真空包装机1042

（三）单室真空包装机1044

（四）双室真空包装机1045

（五）输送带式真空包装机1047

（六）热成型真空包装机1049

（七）吸管式真空充气包装机1051

（八）膨松柔软物品缩体包装机1052

（二）真空气相干燥原理1053

（一）概述1053

十四、真空气相干燥1053

（三）VPD设备原理及组成1054

（四）主要工艺1055

（五）热利用及煤油净化系统1056

（二）浸渍主要工序1057

（一）基本要素1057

十五、真空浸渍1057

（三）浸渍工作压力与真空系统1059

（四）浸渍装置1060

（一）概述1062

十六、真空蒸馏1062

（二）真空蒸馏装置1063

（三）分子蒸馏装置1065

（一）真空吊车1068

十七、真空输送1068

（二）物料的真空吸送1070

（三）混凝土真空吸水软吸盘1072

（二）真空过滤机1075

（一）概述1075

十八、真空过滤1075

（三）6MeV串列加速器真空系统1080

（二）高压加速器真空系统1080

十九、加速器真空系统1080

（一）概述1080

（四）高能同步加速器1083

（五）回旋加速器真空系统1086

（二）受控核聚变装置真空环境特点1088

（一）概述1088

二十、受控核聚变装置1088

（三）真空室1089

（五）HL-2A托卡马克真空系统及烘烤1090

（四）托卡马克装置1090

（六）HT-7超导托卡马克第一壁He辉光硼化1093

（二）真空在核电燃料生产中的应用1094

（一）概述1094

二十一、真空在核电工程中的应用1094

（三）真空在核电设备制造中的应用1095

（四）真空在核电站运行中的应用1096

（二）纳米半导体薄膜制备1098

（一）概述1098

二十二、真空环境制备纳米材料1098

（四）纳米颗粒铜薄膜制备1099

（三）制备银纳米颗粒与薄膜1099

（五）真空冷冻干燥方法制备纳米粉1100

（一）概述1103

二十三、真空装置自动控制1103

（二）自动控制元件及装置1107

（三）真空装置自动控制系统1112

（一）液压式真空规1122

二、真空规1122

第十一章 真空度测量与真空规校准1122

一、概述1122

（二）弹性变形真空规1128

（三）热传导真空规1130

（四）辐射计型真空规1136

（五）粘滞性真空规1138

（六）电离真空规1142

（七）极高真空测量1151

（一）概述1160

三、真空规校准1160

（三）膨胀式校准系统1162

（二）绝对真空规比对校准系统1162

（四）动态流量法校准系统1164

（五）趋势1168

（一）概述1169

四、真空测量技术1169

（二）气体种类与真空规1170

（三）作为“气沉”和“气源”的测量系统1171

（四）非均匀环境下的真空测量1174

（五）特殊条件下的真空测量1175

（六）测量值的评价和误差1176

（七）选择、安装、规程1181

（八）附表1182

（一）真空分析质谱计的主要应用范围1191

一、概述1191

第十二章 真空系统的气体分析与分压测量1191

（三）可用于真空分析的质谱计1192

（二）对真空分析质谱计的一般要求1192

二、真空质谱计的离子源1193

（二）传统碰撞源的改进形式1194

（一）传统电子碰撞式离子源1194

（三）磁控管型冷阴极离子源1195

（四）无磁场放电型离子源1196

（五）电子振荡型离子源1197

（六）脉冲电子碰撞源1198

（七）离子贮存式电子碰撞源1199

（一）回旋质谱计1200

三、不同质量分离原理的质谱计1200

（二）离子回旋共振质谱计1202

（三）磁偏转质谱计1203

（四）摆线质谱计1205

（五）飞行时间质谱计1207

（六）射频质谱计1210

（七）线振质谱计（静电质谱计）1212

（九）单极质谱计1214

（八）四极质谱计1214

（十）三维四极离子阱1215

（一）电测法离子检测器的分类1216

四、真空质谱计的离子检测器1216

（三）电子倍增器1217

（二）法拉第筒1217

（一）基本原理1222

五、四极质谱计1222

（三）仪器基本参数之间的关系1225

（二）稳定图与质量扫描线1225

（四）仪器工作模式及质谱扫描1226

（五）四极质谱计特性1227

（六）四极质谱计基本参数设计1230

（七）主要技术指标测试方法1231

（八）真空系统离子的判别和残余气体分析1234

（九）仪器进展概况1235

（一）常用术语1236

六、常用术语和真空质谱计的主要技术指标1236

（二）真空质谱计的主要技术指标1239

七、附表1240

（二）最大允许漏率1250

（一）真空系统中漏气、虚漏与抽气之间的平衡1250

第十三章 真空检漏技术和仪器1250

一、概述1250

（一）漏孔1251

二、漏孔、漏率及标准漏孔1251

（三）真空检漏的目的1251

（三）标准漏孔及其校准1254

（二）漏率及漏率单位1254

（一）检漏方法的分类1260

三、检漏方法和仪器1260

（二）气泡检漏法1262

（四）真空规检漏法1265

（三）放电管法与高频火花检漏器1265

（五）氢一钯法1271

（七）离子泵检漏器1272

（六）静态升压法1272

（八）卤素检漏仪1274

（九）氨气检漏法1276

（十一）其它检漏法1279

（十）氦质谱检漏仪1279

四、氦质谱检漏仪1280

（一）质谱仪器与检漏技术1280

（二）氦质谱检漏仪的基本原理与组成1281

（三）氦质谱检漏仪的主要参数1281

（四）高灵敏度氦质谱检漏仪1285

（五）返流氦质谱检漏仪1286

（六）国产氦质谱检漏仪1287

五、如何选择检漏仪器、检漏方法和示漏物质1294

（一）选择检漏仪器和方法应注意的几个问题1294

（二）示漏物质的选择及使用中应注意的事项1296

（三）选择检漏方法和示漏物质时还要考虑的安全因素1297

六、氦质谱检漏技术1298

（一）检漏的物理过程及有关公式1298

（二）辅助真空系统1303

（四）压力检漏法1304

（五）检漏盒法1304

（三）氦罩法检漏1304

（六）背压法检漏1305

（七）喷吹法1306

（八）吸入法检漏1308

（十）累积法检漏1310

（十一）用选择性抽气方法提高检漏灵敏度1310

（九）检漏台1310

七、检漏的实践1311

（一）在真空工作的各个阶段都要考虑检漏工作1311

（十二）各种氦质谱检漏方法的应用1311

（二）检漏工作人员与检漏实验室（车间）1313

（三）如何进行检漏1313

（一）概述1315

一、材料的真空性能1315

（二）扩散、溶解、渗透1315

第十四章 真空技术常用材料1315

（三）出气1330

（四）蒸气压、蒸发、蒸发（升华）速率1372

二、真空材料1392

（一）壳体材料1392

（二）焊接、连接和封接材料1399

（三）泵工作物质1407

（四）真空规、质谱计用材1417

（五）高温真空装置用材1421

三、航天器用材料质量损失性能1428

（一）空间环境和航天器的相互作用1428

（二）航天器用材料出气筛选的主要指标1429

（三）航天器用材料出气筛选的试验方法标准及材料出气筛选的取舍判据1430

（四）航天器用材料出气筛选的异位测试1430

（五）航天器用材料出气筛选的原位测试1438

（六）航天器用润滑油（硅油）饱和蒸气压1457

（七）原子氧对航天器用材作用的效应1458

二、真空技术中的清洁处理1464

一、概述1464

（一）概述1464

第十五章 真空技术常用工艺1464

（二）污染物的几种类型1465

（三）污染的形成及其影响1465

（四）真空对环境的要求1466

（五）真空环境的有关标准1468

（六）真空装置常见污染及其防治1474

（七）表面处理的基本方法1478

（八）清洗实例1481

三、真空设备制造中常用的几种永久性连接方法1484

（一）氩弧焊1484

（二）钎焊1488

（三）电子束焊1496

（四）其它焊接方法1499

四、玻璃、陶瓷工艺1502

（一）金属—陶瓷封接1502

（二）玻璃—金属封接1513

（三）玻璃的熔接和切割工艺1520

五、真空排气工艺1520

（一）概述1521

（二）低温容器抽气时存在的主要问题1521

（三）通常采用的排气工艺1523

（四）气体热冲洗和间断排气新工艺1524

（五）低温容器的抽气时间1526

（六）吸附剂活化处理1527

第十六章 极高真空技术及其应用1528

一、概述1528

二、限制极限压力的因素1529

（一）容器内原有的气体1530

（二）漏气1531

（三）放气1531

（四）渗漏1537

（五）返流1540

三、获得极高真空的方法1541

四、获得极高真空的技术1545

（一）油扩散泵系统获得极高真空的质谱分析1545

（二）贮槽式液氦冷凝泵的设计及性能测试1550

（三）钛钼和钛锆丝蒸发参数和吸气性能的测定1557

（四）极高真空设备中的冷漏现象及其消除方法1565

五、用分子沉技术获得10-11Pa极高真空1569

（二）压力的测量1569

（一）极高真空装置真空系统的结构及特点1570

（三）系统运转程序1570

（四）实验结果1571

六、极高真空技术的应用1571

一、真空设计常用数据1573

（一）基本物理常数1573

附录1573

（二）数表（N=0.01～100）1574

（三）常用量和单位1579

（四）单位的换算1585

（五）常用气体的物理性质1588

（六）物质的蒸气压1594

（七）液化气体的种类和性质1596

（八）气体在低温下的性质1597

（九）活性炭、沸石、氧化硅、氧化铝对气体的吸附1598

（十）某些材料的吸附热1600

（十一）各种气体的附着系数1601

（十二）气体的脱附活化能1601

（十三）真空绝热材料的热导率1602

（十四）各种气体与蒸气的爆炸范围和自燃点1603

（十五）主要溶剂的某些性质1603

（十六）真空技术中使用的有害物质1605

（十七）无机物和有机物的特性1607

（十八）高熔点氧化物陶瓷的性能1610

（十九）高氧化铝陶瓷的性质1612

（二十）高熔点材料在2000K时的性质1613

（二十一）液体金属的一些性质1614

（二十二）高温下金属的机械性能1616

（二十三）高温下纯金属的物理性质1617

（二十四）真空中加热电流、电压与钨丝直径的关系1619

（二十五）热阴极材料的热电子发射电流密度1620

（二十六）可伐的物理特性1622

（二十七）主要的薄膜制造方法1623

（二十八）常用蒸镀物质的性能1634

（二十九）薄膜制作技术在电子产品上的应用1634

（三十）材料的摩擦因数1635

（三十一）镀铜、镍、金零件的烧氢温度1637

（三十二）表面分析装置的名称、代号及原理1638

（三十三）表面分析装置的性能和特点1640

（三十四）蒸汽流泵对不同种类气体的理论抽速1642

二、我国现有的真空标准1642

三、主要真空研究单位及生产厂家简介1646

参考文献1666