图书介绍
光电材料及光波导探测器的设计与研制PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 刘淑平著 著
- 出版社： 北京：兵器工业出版社
- ISBN：7801721187
- 出版时间：2003
- 标注页数：124页
- 文件大小：23MB
- 文件页数：135页
- 主题词：半导体材料－晶体结构－结构分析；半导体材料－生产工艺
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图书目录
第1章Ge、 Si的晶体结构1
Ge、 Si的晶体结构1
晶向和晶面7
锗硅晶体的各向异性17
第2章 GeSi异质结及超晶格的基本特性24
GeSi应变层的临界厚度及超晶格的稳定性24
GeSi合金的折射率的计算30
GeSi合金的等离子色散效应31
第3章 PN结34
PN结34
过渡区的电势分布和结电容36
PN结的电流—电压特性41
PN结的击穿现象50
第4章 半导体工艺59
扩散59
氧化技术原理70
物理气相淀积（PVD）和化学气相淀积（CVD）81
第5章 光波导器件84
三层平面波导的基本理论84
有效折射率的数值解法90
SOI光波导的有效折射率的计算及其波导层厚度的设计92
GeSi／Si异质结平面光波导的光场分析与设计98
第6章 光电探测器106
Ge0.Si0.4／Si应变超晶格光电探测器的光场分析与设计106
P-Ge0.05Si0.95／P-Si及Ge0.6Si0.4／Si SLS探测器的制作113
P-Ge0.05Si0.95／P-Si异质结及GeSi／Si SLS探测器的测试与分析118
参考文献122