图书介绍
微机电系统（MEMS）原理、设计和分析PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 田文超著（西安电子科技大学机电学院） 著
- 出版社： 西安：西安电子科技大学出版社
- ISBN：9787560622231
- 出版时间：2009
- 标注页数：250页
- 文件大小：65MB
- 文件页数：260页
- 主题词：微电机
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图书目录
第1章 微机电系统概述1
1．1微机电系统的基本概念1
1．2微机电系统的研究现状4
1．3微机电系统的应用6
1．4微机电系统的特点和研究领域8
第2章 微机电系统常用材料13
2．1硅13
2．1．1单晶硅13
2．1．2晶体结构14
2．1．3弥勒指数15
2．1．4机械特性16
2．2硅化合物17
2．2．1多晶硅17
2．2．2氧化硅17
2．2．3碳化硅18
2．2．4氮化硅18
2．3砷化镓18
2．4陶瓷19
2．5形状记忆合金20
2．6磁致伸缩材料22
2．7流变体22
2．7．1电流变体22
2．7．2磁流变体23
2．7．3铁流23
第3章 微机电系统的固体力学问题26
3．1尺寸效应26
3．2梁的力学问题27
3．2．1应变和应力28
3．2．2梁的弯曲变形28
3．3膜的力学问题31
3．3．1薄膜弯曲32
3．3．2周边固支圆形薄膜弯曲33
3．3．3周边固支矩形薄膜弯曲33
3．4机械振动34
3．4．1无阻尼自由振动34
3．4．2共振35
3．4．3阻尼自由振动35
3．5粘附力36
3．5．1粘附力的实质及其研究方法36
3．5．2分子动力学38
3．5．3 Hamaker微观连续介质理论40
3．6机电系统中的拉格朗日—麦克斯韦方程41
3．6．1电路方程41
3．6．2有质动力42
3．6．3拉格朗日—麦克斯韦方程43
第4章 微机电系统加工技术基础45
4．1微电子加工工艺45
4．1．1光刻45
4．1．2淀积47
4．1．3腐蚀47
4．1．4键合49
4．1．5外延50
4．1．6体硅加工51
4．1．7表面加工51
4．1．8 LIGA技术54
4．1．9准分子激光工艺58
4．1．10分子操纵技术58
4．1．11封装62
4．2精密加工和特种加工62
4．2．1精密加工62
4．2．2特种加工63
第5章 微机电系统工作原理69
5．1微传感器69
5．1．1压阻传感器70
5．1．2电容传感器72
5．1．3压电传感器74
5．1．4谐振传感器76
5．1．5隧道传感器77
5．1．6热传感器78
5．1．7光传感器79
5．1．8化学传感器80
5．2微加速度计和微陀螺仪80
5．2．1线微加速度计80
5．2．2差动电容微加速度计81
5．2．3“跷跷板”式微加速度计83
5．2．4“三明治”式微加速度计85
5．2．5梳齿式微加速度计86
5．2．6微加速度计的研究方向89
5．2．7微陀螺传感器91
5．2．8刚体定点转动式微陀螺仪92
5．2．9刚体平动式微陀螺仪95
5．2．10振动棒式微陀螺仪98
5．3微执行器99
5．3．1静电执行器99
5．3．2电磁执行器102
5．3．3压电执行器104
5．3．4形状记忆合金执行器106
5．4数字微镜及其应用106
5．4．1数字微镜的工作原理106
5．4．2数字微镜的应用110
5．5微流系统113
5．5．1流体力学基础113
5．5．2基本方程114
5．5．3典型器件117
第6章 微机电系统表面特性123
6．1物质结构123
6．2势函数125
6．3 Hamaker微观连续介质理论126
6．4液体表面126
6．5粗糙表面表征128
6．6粗糙表面工艺分析133
6．7粘附问题及其释放恢复技术144
第7章 微机电系统检测技术152
7．1微机电系统材料特性测试152
7．1．1弹性模量测量152
7．1．2残余应力测试153
7．1．3断裂强度测试153
7．1．4硬度测试155
7．2微机电系统表面形貌测试157
7．2．1 SPM基本原理158
7．2．2 STM基本原理159
7．2．3 AFM基本原理159
7．2．4 FMM基本原理160
7．2．5 PDM基本原理161
7．2．6其他SPM显微镜原理161
7．2．7光学探针测试163
7．2．8台阶测试163
7．3可靠性测试164
7．4离心机165
第8章 微机电系统应用167
8．1微机电系统在汽车工业中的应用167
8．1．1汽车电子特性168
8．1．2汽车传感器169
8．1．3轮胎气压监测系统173
8．2微机电系统在家用电器中的应用178
8．3微机电系统在生物医学中的应用184
8．3．1生物芯片184
8．3．2微创无创技术187
8．4微机电系统在光通信中的应用193
8．4．1全光通信194
8．4．2光开关194
8．5微机电系统在航空航天中的应用203
8．5．1微纳卫星203
8．5．2微型飞行器204
8．5．3微型机器人206
8．5．4 NASA206
8．6微机电系统在军事中的应用209
8．6．1微纳武器209
8．6．2微惯导技术210
第9章 COMSOL软件及微机电系统模块仿真214
9．1有限元214
9．2 COMSOL Multiphysics软件介绍215
9．2．1 COMSOL Multiphysics概述215
9．2．2 COMSOL Multiphysics建模218
9．2．3结构力学模块219
9．2．4热传导模块220
9．2．5 CAD导入模块221
9．2．6 COMSOL二次开发工具221
9．3微机电模块仿真223
9．3．1微机电模块介绍223
9．3．2微电阻梁变形模型仿真225
9．3．3二维叉指驱动器仿真233
9．3．4微悬梁残余应力模型仿真241
参考文献246