图书介绍
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- 康伟超，王丽主编 著
- 出版社： 北京：化学工业出版社
- ISBN：9787122055682
- 出版时间：2009
- 标注页数：144页
- 文件大小：67MB
- 文件页数：152页
- 主题词：半导体材料－硅－检测－教材
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图书目录
第1章 硅单晶常规电学参数的物理测试1
1.1半导体硅单晶导电类型的测量1
1.2半导体硅单晶电阻率的测量7
1.3非平衡少数载流子寿命的测量19
本章小结37
习题37
第2章 化学腐蚀法检测晶体缺陷38
2.1半导体晶体的电化学腐蚀机理及常用腐蚀剂38
2.2半导体单晶中的缺陷42
2.3硅单晶中位错的检测49
2.4硅单晶中漩涡缺陷的检测55
2.5化学工艺中的安全知识61
2.6金相显微镜简介62
本章小结63
习题64
第3章 半导体晶体定向65
3.1晶体取向的表示方法65
3.2光图定向72
3.3 X射线定向76
本章小结88
习题88
第4章 红外吸收法测定硅单晶中的氧和碳的含量、多晶硅中基硼、基磷含量的检验89
4.1测量原理89
4.2测试工艺和方法93
4.3测准条件分析95
4.4多晶硅中基硼、基磷含量的检验97
本章小结99
习题100
第5章 纯水的检测101
5.1纯水在半导体生产中的应用101
5.2离子交换法制备纯水的原理102
5.3离子交换法制备纯水105
5.4纯水制备系统主要设备及工作原理107
5.5纯水制备系统运行控制115
5.6纯水制备系统的清洗116
5.7高纯水的检测119
本章小结121
习题121
第6章 高纯分析方法122
6.1三氯氢硅中痕量杂质的化学光谱测定122
6.2三氯氢硅（四氯化硅）中硼的分析124
6.3三氯氢硅（四氯化硅）中痕量磷的气相色谱测定126
6.4工业硅中铁、铝含量的测定128
6.5露点法测定气体中的水分131
6.6气相色谱法测定干法H2的组分133
6.7氯化氢中水分的测定136
6.8液氯中水分的测定137
本章小结138
习题138
第7章 其他物理检测仪器简介139
7.1 X射线形貌技术139
7.2质谱分析140
7.3中子活化分析141
7.4电子显微镜142
参考文献144