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目录1

第一章 真空技术基础1

一、真空技术及其应用1

（一）地球上的真空1

（二）真空度的单位1

（三）真空的特点及区域划分4

（四）真空技术的应用6

二、真空中的气体分子特性12

（一）气体定律12

（二）气体的压力、质量、密度及速度14

（三）平均自由程15

（四）蒸发凝结与饱和蒸气压18

（五）气体的迁移21

（六）吸附与解吸23

第二章 真空获得设备25

一、概述25

（一）真空泵的工作原理26

（二）真空泵的主要参数26

（三）各类真空泵的抽速及工作范围26

（四）真空泵型号编制方法27

二、机械真空泵29

（一）往复真空泵29

（二）水环真空泵31

（三）油封旋转式真空泵36

（四）罗茨真空泵51

（五）涡轮分子泵53

三、蒸气流泵54

（一）扩散泵54

（二）喷射泵60

（三）扩散喷射泵62

四、物理化学泵65

（一）吸附泵65

（二）吸气离子泵66

（三）钛升华泵71

（五）吸气剂泵72

（四）低温泵72

五、真空机组74

（一）真空机组型号编制方法74

（二）低真空机组75

（三）高真空机组77

（四）超高真空机组78

六、真空泵的试验82

（一）运转试验82

（二）性能试验82

（三）油扩散泵性能试验方法83

第三章 真空系统91

一、真空材料91

（一）结构材料91

（二）绝缘密封材料95

（三）真空油、脂材料96

二、真空系统的组合部件101

（一）真空室101

（二）阀101

（三）档板104

（四）阱107

三、真空系统的组装与调试109

（一）真空卫生与清洁处理109

（二）固定连接112

（三）可拆连接112

（四）可动连接123

（五）观察窗128

（六）真空系统的组装与调试129

四、真空系统的设计130

（一）真空系统中气体的流动130

（二）真空系统计算的基本公式131

（三）分子流、粘滞流对20℃空气、孔和管道的流导计算公式132

（四）真空系统的设计计算134

（五）真空计算尺140

五、真空系统的典型结构141

（一）低真空系统141

（二）中真空系统141

（三）高真空系统142

（四）超高真空系统143

六、真空系统的操作规程145

第四章 真空测量147

一、真空计的分类与选择147

二、全压真空计148

三、绝对真空计148

（一）U形真空计153

（二）压缩式真空计153

（三）热辐射真空计153

（一）电容式薄膜真空计154

（三）电阻式薄膜真空计154

（二）电感式薄膜真空计154

五、弹性真空计154

四、相对真空计154

六、热传导真空计155

（一）电阻真空计157

（二）热偶真空计159

（三）热敏电阻真空计163

七、电离真空计163

（一）放射性电离真空计163

（二）热阴极电离真空计166

（三）B—A式电离真空计171

（四）热阴极磁控电离真空计175

（五）冷阴极电离真空计175

（六）冷阴极磁控真空计176

（七）放电管指示器180

（八）国产热偶电离真空计182

八、粘滞性真空计187

（一）衰减真空计187

（二）旋转分子真空计187

（三）谐振—粘滞真空计187

（四）振膜真空计187

九、国产真空计规管主要性能188

十、分压真空计191

（一）磁编转质谱计191

（三）四极质谱计192

（二）回旋质谱计192

十一、真空计的使用与校准193

（一）真空计的选择193

（二）真空计的安装193

（三）真空计的使用195

（四）真空计的校准196

（五）标准压缩真空计197

（六）6301型膨胀式玻璃校准系统197

（七）金属超高真空检定系统198

（八）BDZ型标准电离真空计200

（三）标准孔及其校准201

（一）定义201

（二）漏孔和漏率201

一、基本概念201

第五章 真空检漏201

（四）极限真空度和最大漏率极限207

二、检漏方法209

（一）检漏方法的分类209

（二）压力检漏法210

（三）真空检漏法210

（四）其他检漏法213

三、氦质谱检漏仪213

四、最大漏率的测量224

（一）漏气源的分析225

（二）特种冶炼设备及真空电阻炉最大漏率的探测226

（三）无线电真空设备、真空镀膜机最大漏率的探测228

（四）钢水真空处理及真空密封造型装置最大漏率的探测228

（五）最大漏率计算图228

五、国产氦质谱检漏仪230

（一）JLH—1型氦质谱检漏仪230

（二）ZLS—23型氦质谱检漏仪231

（三）ZhP—4G型超高灵敏氦质谱探漏仪231

（四）6104A型氦质谱检漏仪232

（五）JLH—3型高灵敏氦质谱检漏仪232

（六）LX—3型卤素检漏仪233

（七）DG—4型、DG—4c型嗅敏检漏仪234

一、真空感应炉236

（一）结构原理及特点236

第六章 真空应用设备236

（二）ZG系列真空感应炉238

（三）真空感应炉熔炼工艺240

二、真空感应烧结炉246

（一）ZG？—系列真空感应烧结炉246

（二）ZGC—250—20J真空感应气相沉积炉247

（三）ZRJ—30—22真空钽烧结炉248

三、真空电弧炉248

（一）概述248

（二）结构组成249

（三）电源249

（四）电极的制备250

（一）概述252

（二）结构252

（五）真空系统252

四、真空凝壳炉252

（六）ZH系列真空自耗电极电弧炉252

（三）ZHN系列真空凝壳炉主要技术参数253

五、电子轰击炉253

（一）原理、特点和用途254

（二）基本熔炼方式及设备组成254

（三）熔炼工艺254

（四）电子束发生器256

（五）供电系统256

（一）结构型式258

（六）国产电子轰击炉258

六、真空电阻炉258

（二）各种真空电阻炉一览表259

（三）电真空器件用真空炉一览表259

七、真空镀膜装置259

（一）工作原理259

（二）结构及分类260

八、其它真空应用设备270

（一）真空冷冻干燥设备270

（二）扫描电子显微镜270

（三）离子注入机、刻蚀机和分子束外延装置271

（四）真空浸渍、灌注、涂复、储存、加热及包装设备274

（五）低温容器275

附录277

附录一 真空技术图形符号277

附录二 我国现有与真空技术有关的标准285

附录三 常用气体的基本物理—化学常数286

附录四 主要溶剂的性质290

附录五 真空在电炉中的应用291

附录六 清洗剂配方292

附录七 不同牌号材料的可焊性297

附录八 几种主要焊接方法的特性和应用298

附录九 材料在室温下处于真空中1小时的放气率300

附录十 材料单位重量放气量300

参考文献301