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微电子技术
  • 毕克允等编著 著
  • 出版社: 北京市:国防工业出版社
  • ISBN:7118055271
  • 出版时间:2008
  • 标注页数:420页
  • 文件大小:120MB
  • 文件页数:442页
  • 主题词:微电子技术

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图书目录

第1章 绪论1

从0.5μm、0.25μm、0.13μm到90nm、65nm、10nm——看集成电路工艺技术的突飞5

不断缩小特征尺寸——提高芯片集成度和性价比的有效手段5

逐步增大圆片面积——提高芯片成品率和降低成本的最佳捷径6

探索新的发展空间6

从LSI、VLSI到GLSI/SoC——看集成电路设计技术的猛进7

集成电路产业“龙头”——LSI设计8

设计成功的保证——先进设计工具8

设计技术的新革命——片上系统(SoC)9

面临超深亚微米、纳米电路的设计挑战10

从Ge、Si、GaAs、InP到SiC、GaN——看第三代半导体的发展10

半导体材料的电子能带及特性参数10

元素半导体——Ge、Si12

化合物半导体——GaAs、InP12

宽带隙半导体——SiC、GaN12

半导体材料新探索13

从MEMS、NEMS到生物芯片、有机半导体——看微电子技术向其他学科拓展13

MEMS13

NEMS14

生物芯片15

有机半导体15

推进微电子技术的高速发展15

第2章 基本器件技术18

硅器件技术19

MOS器件技术19

双极晶体管技术23

功率电子器件技术29

化合物器件技术49

GaAs器件技术49

InP基HEMT技术56

SiGe器件技术56

新型半导体器件技术62

宽带隙半导体技术62

量子器件技术68

纳米电子器件技术73

有机半导体器件技术77

参考文献80

第3章 设计技术81

集成电路发展与设计历程81

集成电路的发展历程81

集成电路的分类82

集成电路设计的要求84

集成电路设计和制造的关系84

集成电路设计和EDA软件的关系85

硅集成电路设计技术87

等比例缩小定律87

集成电路设计方法学88

集成电路设计流程94

集成电路设计验证技术101

可测性设计技术111

硅集成电路设计技术的挑战112

GaAs电路设计技术116

GaAs微波单片电路(MMIC)设计116

GaAs超高速电路(VHSIC)设计121

参考文献125

第4章 工艺技术126

基本工艺技术127

外延127

离子注入128

扩散、氧化130

介质薄膜生长132

金属化135

光刻137

刻蚀139

化学机械抛光141

背面工艺143

工艺集成技术143

硅工艺集成技术144

砷化镓工艺集成技术154

参考文献160

第5章 大生产技术161

典型电路芯片制造主要工艺流程162

200mm圆片0.25μm典型CMOS电路制造主要工艺流程162

300mm圆片0.13μm典型CMOS电路制造主要工艺流程168

标准工艺线——Foundry的大生产管理技术169

半导体加工自动化170

计算机集成制造170

效率管理172

标准工艺线——Foundry的代工模式173

什么是Foundry代工模式173

Foundry代工的发展历程174

国内外Foundry代工形势及发展前景174

第6章 封装测试技术176

芯片封装技术177

封装的作用和地位177

封装类型178

几种典型封装技术182

未来封装技术展望193

集成电路测试技术198

成品测试198

故障模型、故障模拟与分析198

典型硅大规模集成电路测试199

典型(GaAs)微波单片集成电路测试201

裸芯片测试206

第7章 微电子机械系统(MEMS)技术209

MEMS器件技术211

MEMS传感器211

MEMS执行器216

微光机电系统(MOEMS)219

射频MEMS (RF MEMS)器件222

流体MEMS和生物MEMS227

MEMS设计技术230

MEMS设计依据230

MEMS设计方法231

MEMS设计模型231

MEMS设计工具234

MEMS加工技术235

体硅MEMS加工236

表面硅MEMS加工242

LIGA和准LIGA加工246

从MEMS到NEMS249

NEMS的产生249

NEMS的特性250

NEMS的加工技术251

NEMS的发展方向251

NEMS的潜在应用252

第8章 片上系统(SoC)技术254

SoC积木单元——IP重用技术256

IP重用技术概要256

IP标准和规范257

IP核设计流程259

IP质量评估263

IP重用工程学264

SoC的动脉——片上总线技术265

片上总线概述265

AMBA Bus和C*BUS267

片上总线的设计271

片上总线技术展望274

SoC的设计新方法——软/硬件协同设计274

软/硬件协同设计概述274

软/硬件协同设计流程275

软/硬件协同设计环境介绍281

SoC的设计保证——集成验证技术281

集成验证技术283

验证平台的重用285

SoC的质量瓶颈——低功耗设计技术285

功耗的产生286

低功耗设计技术289

SoC的明天——技术发展趋势294

可重构SoC295

片上网络(NoC)299

后硅时代的发展趋势302

参考文献304

第9章 可靠性技术305

失效模式和失效机理306

失效模式306

失效机理307

可靠性设计技术313

抗电迁移设计313

抗辐射加固设计315

抗ESD设计316

抗热载流子设计318

抗闩锁设计320

抗正偏、反偏二次击穿设计322

可靠性评价技术323

微电子可靠性测试结构323

可靠性评价325

可靠性评价技术的新发展327

失效分析技术328

失效分析流程328

电测分析329

无损失效分析330

失效定位331

失效机理分析333

可靠性试验技术337

老化筛选337

寿命试验341

参考文献343

第10章 重点类别及其应用344

存储器344

什么是存储器345

存储器主要指标和类型345

存储器基本组成346

存储器的分类346

可存储万卷书的存储器芯片351

微处理器352

中央处理器(CPU)353

微控制器(MCU)355

数字信号处理器(DSP)356

专用集成电路(ASIC)357

ASIC门阵列的设计与制造358

ASIC门阵列结构358

ASIC典型应用359

可编程逻辑器件(PLD)360

有关PLD的一般概念360

简单可编程逻辑器件(SPLD)361

复杂可编程逻辑器件(CPLD/EPLD)362

现场可编程门阵列(FPGA)364

模拟集成电路365

RF电路366

A/D转换器和D/A转换器366

运放370

电源管理372

混合集成电路和多芯片组件374

混合集成电路(HIC)374

多芯片组件(MCM)376

HIC/MCM应用382

MEMS器件385

形成产业的几个民用MEMS器件实例385

MEMS器件的典型军事应用387

砷化镓集成电路391

砷化镓微波及毫米波单片集成电路(MIMIC)391

砷化镓超高速集成电路(GaAs VHSIC)394

硅微波功率器件396

硅双极型微波功率器件397

硅微波功率DMOSFET398

功率电子器件401

功率VDMOS器件402

绝缘栅极双极型晶体管(IGBT)402

快速恢复二极管(FRD)403

反向开通二极管开关器件(RSD)404

大功率半导体切断开关(SOS)404

快速离化半导体开关器件(FID)404

半导体延迟击穿开关器件(DBD)405

应用前景405

参考文献406

缩略语407

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