图书介绍
微电子机械微波通讯信号检测集成系统PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 廖小平等著 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：9787030513304
- 出版时间：2016
- 标注页数：294页
- 文件大小：29MB
- 文件页数：310页
- 主题词：微电子元件－信号检测
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图书目录
第1章 设计理论和实现方法1
1.1共面波导的设计理论和实现方法1
1.2模型的建立方法3
1.2.1微波集总模型3
1.2.2微波-热-电转换模型4
1.2.3微波-力-电转换模型5
1.3与GaAs MMIC兼容的MEMS工艺6
1.4微波、热电势和力的测试平台6
1.5系统级S参数模型9
1.6MEMS集成的微波功率检测器在微波接收机前端的应用9
1.7MEMS集成的微波相位检测器在锁相环中的应用10
1.8MEMS集成的微波频率检测器在微波接收检测中的应用11
1.9小结15
参考文献15
第2章 微波功率分配器17
2.1引言17
2.2微波功率分配器的模拟和设计17
2.3微波功率分配器的性能测试22
2.4微波功率分配器的系统级S参数模型25
2.5小结31
参考文献31
第3章 MEMS间接加热热电式微波功率传感器32
3.1引言32
3.2MEMS间接加热热电式微波功率传感器32
3.2.1MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计32
3.2.2MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试42
3.2.3MEMS间接加热热电式微波功率传感器的系统级S参数模型47
3.3频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器53
3.3.1频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计53
3.3.2频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试55
3.4无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器60
3.4.1无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计60
3.4.2无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试62
3.5三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器68
3.5.1三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计69
3.5.2三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试72
3.6小结75
参考文献76
第4章 MEMS直接加热热电式微波功率传感器78
4.1引言78
4.2MEMS直接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计78
4.2.1结构和原理78
4.2.2模拟和设计80
4.3MEMS直接加热热电式微波功率传感器的测试85
4.3.1微波性能的测试86
4.3.2灵敏度的测试87
4.3.3响应时间的测试88
4.4MEMS直接加热热电式微波功率传感器的系统级S参数模型90
4.4.1系统级S参数模型的建立90
4.4.2微波频率、隔直电容和热电堆的电阻对模型的影响91
4.5小结95
参考文献95
第5章 MEMS电容式微波功率传感器96
5.1引言96
5.2MEMS固支梁电容式微波功率传感器96
5.2.1MEMS固支梁电容式微波功率传感器的模拟和设计96
5.2.2MEMS固支梁电容式微波功率传感器的性能测试107
5.3MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器114
5.3.1MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器的模拟和设计114
5.3.2MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器的性能测试119
5.4MEMS电容式微波功率传感器的系统级S参数模型124
5.5小结128
参考文献128
第6章 MEMS级联微波功率传感器130
6.1引言130
6.2MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器130
6.2.1MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器的模拟和设计130
6.2.2MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器的性能测试131
6.2.3MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器的系统级S参数模型137
6.3MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器138
6.3.1MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器的模拟和设计138
6.3.2MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器的性能测试139
6.3.3MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器的系统级S参数模型142
6.4小结143
参考文献143
第7章 MEMS在线电容耦合式微波功率检测器145
7.1引言145
7.2MEMS在线电容耦合式微波功率检测器的模拟和设计145
7.2.1结构和原理146
7.2.2模拟和优化151
7.3MEMS在线电容耦合式微波功率检测器的测试153
7.3.1具有阻抗匹配和开路传输线补偿电容结构154
7.3.2具有阻抗匹配、开路传输线补偿电容和状态转换开关结构158
7.4MEMS在线电容耦合式微波功率检测器的系统级S参数模型163
7.4.1考虑损耗和相移的微波集总模型的建立163
7.4.2MEMS膜对微波信号幅度和相位的影响166
7.4.3实验验证和误差讨论167
7.5小结171
参考文献171
第8章 MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器173
8.1引言173
8.2MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器的模拟和设计173
8.2.1结构和原理173
8.2.2基于MEMS技术CPW定向耦合器的设计176
8.2.3MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器的模拟181
8.3MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器的测试185
8.3.1毫米波性能的测试185
8.3.2电容式传感器的灵敏度测试187
8.3.3热电式传感器的灵敏度测试188
8.4MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器的系统级S参数模型190
8.5小结192
参考文献193
第9章 MEMS微波相位检测器194
9.1引言194
9.2单端口MEMS微波相位检测器194
9.2.1单端口MEMS微波相位检测器的模拟和设计194
9.2.2单端口MEMS微波相位检测器的性能测试196
9.2.3单端口MEMS微波相位检测器的系统级S参数模型202
9.3双端口对称式MEMS微波相位检测器211
9.3.1双端口对称式MEMS微波相位检测器的模拟和设计211
9.3.2双端口对称式MEMS微波相位检测器的性能测试216
9.3.3双端口对称式MEMS微波相位检测器的系统级S参数模型221
9.4小结227
参考文献227
第10章 MEMS微波频率检测器229
10.1引言229
10.2一分二式MEMS微波频率检测器229
10.2.1一分二式MEMS微波频率检测器的模拟和设计229
10.2.2一分二式MEMS微波频率检测器的性能测试234
10.2.3一分二式MEMS微波频率检测器的系统级S参数模型237
10.3一分三式MEMS微波频率检测器242
10.3.1一分三式MEMS微波频率检测器的模拟和设计242
10.3.2一分三式MEMS微波频率检测器的性能测试246
10.3.3一分三式MEMS微波频率检测器的系统级S参数模型249
10.4MEMS在线式微波频率检测器254
10.4.1MEMS在线式微波频率检测器的模拟和设计254
10.4.2MEMS在线式微波频率检测器的性能测试257
10.4.3MEMS在线式微波频率检测器的改进结构259
10.5小结261
参考文献262
第11章 MEMS封装263
11.1引言263
11.2MEMS微波功率传感器的封装研究263
11.2.1MEMS间接加热热电式微波功率传感器的封装与测试263
11.2.2频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器封装与测试265
11.3MEMS在线电容耦合式微波功率检测器的封装研究275
11.4MEMS微波相位检测器的封装研究286
11.5MEMS微波频率检测器的封装研究289
11.6小结290
参考文献290
第12章 总结和展望292
12.1总结292
12.2展望293
参考文献294