图书介绍
基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 张玉宝，李强主编 著
- 出版社： 北京：冶金工业出版社
- ISBN：9787502442767
- 出版时间：2007
- 标注页数：198页
- 文件大小：37MB
- 文件页数：208页
- 主题词：计算机辅助设计－应用软件，COMSOL Multiphysics－应用－微电机－建立模型
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图书目录
1 基本建模过程1
1.1 模型向导1
1.2 选项与设置2
1.3 绘制几何图2
1.4 设置物理性质3
1.5 耦合应用模式3
1.6 划分网格3
1.7 求解模型5
1.8 后处理分析结果6
2 MEMS受激模型6
2.1 悬臂梁模型8
2.1.1 概述8
2.1.2 模型定义8
2.1.3 求解结果9
2.1.4 应用COMSOL Multiphysics建模10
2.1.5 用户图形界面建模10
2.2 梳状驱动器模型（Comb Drive）15
2.2.1 概述15
2.2.2 模型定义16
2.2.3 应用COMSOL Multiphysics建模17
2.2.4 结果与分析17
2.2.5 用户图形界面建模19
2.3 电容性3D梳状驱动器模型（3D Comb Drive）25
2.3.1 概述25
2.3.2 有关理论26
2.3.3 结果与分析26
2.3.4 应用COMSOL Multiphysics建模27
2.3.5 用户图形界面建模27
2.4 微电阻梁模型（Microresistor Beam）33
2.4.1 概述33
2.4.2 结果与分析33
2.4.3 应用COMSOL Multiphysics建模34
2.4.4 用户图形界面建模34
2.5 预应力微型镜模型42
2.5.1 概述42
2.5.2 模型定义43
2.5.3 结果与分析43
2.5.4 用户图形界面建模44
2.6 薄膜共振的残余应力模型51
2.6.1 概述51
2.6.2 模型定义52
2.6.3 结果与分析53
2.6.4 用户图形界面建模（2D,Straight Cantilevers）53
2.6.5 用户图形界面建模（2D,Folded Cantilevers）57
2.6.6 用户图形界面建模（3D,Straight Cantilevers）62
2.6.7 用户图形界面建模（3D,Folded Cantilevers）67
2.7 热-机作用的微型阀模型72
2.7.1 模型定义72
2.7.2 应用COMSOL Multiphsics建模73
2.7.3 结果与分析74
2.7.4 用户图形界面建模（2D）75
2.7.5 用户图形界面建模（3D）81
3 MEMS传感器模型81
3.1 挤压气膜阻尼式加速度传感器模型89
3.1.1 概述89
3.1.2 模型定义90
3.1.3 结果与分析91
3.1.4 用户图形界面建模（2D）92
3.1.5 用户图形界面建模（3D）95
3.2 电容性压力传感器模型99
3.2.1 概述99
3.2.2 模型定义100
3.2.3 结果与分析102
3.2.4 应用COMSOL Multiphysics建模103
3.2.5 用户图形界面建模104
4 微通道流动模型104
4.1 交流动电学的增强表面反应模型112
4.1.1 概述112
4.1.2 模型定义112
4.1.3 结果与分析115
4.1.4 应用COMSOL Multiphysics建模116
4.1.5 用户图形界面建模117
4.2 动电阀中的传输模型127
4.2.1 概述127
4.2.2 模型定义127
4.2.3 结果与分析130
4.2.4 应用COMSOL Multiphysics建模131
4.2.5 用户图形界面建模133
4.3 ALE流动-结构相互作用模型142
4.3.1 概述142
4.3.2 模型定义143
4.3.3 结果与分析144
4.3.4 应用COMSOL Multiphysics建模145
4.3.5 用户图形界面建模146
4.4 薄片层流混合模型149
4.4.1 概述149
4.4.2 模型定义150
4.4.3 结果与分析151
4.4.4 应用COMSOL Multiphysics建模152
4.4.5 用户图形界面建模152
4.5 微电渗混合器模型158
4.5.1 模型定义159
4.5.2 结果与分析160
4.5.3 应用COMSOL Multiphysics建模161
4.5.4 用户图形界面建模162
4.6 星形微通道芯片模型167
4.6.1 模型定义167
4.6.2 结果与分析168
4.6.3 应用COMSOL Multiphysics建模168
4.6.4 用户图形界面建模169
5 压电装置模型169
5.1 压电陶瓷管模型176
5.1.1 模型定义176
5.1.2 结果与分析177
5.1.3 应用COMSOL Multiphysics建模177
5.1.4 用户图形界面建模178
5.2 压电式剪切驱动梁模型182
5.2.1 模型定义183
5.2.2 结果184
5.2.3 应用COMSOL Multiphysics建模184
5.2.4 用户图形界面建模184
5.3 复合式压电换能器模型189
5.3.1 概述189
5.3.2 结果190
5.3.3 用户图形界面建模190
参考文献198