图书介绍
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- 王力衡等著 著
- 出版社： 北京：清华大学出版社
- ISBN：7302008663
- 出版时间：1991
- 标注页数：206页
- 文件大小：12MB
- 文件页数：213页
- 主题词：薄膜(学科: 技术 学科: 高等学校 学科: 教材)
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图书目录
第一章 成膜技术1
1-1 概述1
1-2 真空蒸发镀膜1
1-3 溅射镀膜10
1-4 离子成膜法21
1-5 化学气相沉积25
1-6 分子束外延制膜法32
1-7 化学溶液镀膜法34
1-8 膜厚的测量与监控38
1-9 膜厚分布的计算46
习题与思考题52
第二章 薄膜的生长过程及结构53
2-1 薄膜生长过程及其分类53
2-2 成核理论57
2-3 溅射薄膜与外延薄膜的生长特性62
2-4 薄膜的结构与缺陷63
2-5 影响薄膜结构的因素66
2-6 非晶态薄膜67
习题与思考题69
第三章 薄膜的电性能70
3-1 连续金属薄膜的电导70
3-2 非连续金属薄膜的电导84
3-3 介质薄膜94
3-4 超导体薄膜105
习题与思考题110
第四章 薄膜的光学性能111
4-1 薄膜光学的基本理论111
4-2 薄膜光学性能的测量117
4-3 介质膜的反射率119
4-4 增透膜与反射膜124
4-5 薄膜波导与集成光学127
习题与思考题130
第五章 薄膜的机械性能和磁学性能131
5-1 薄膜的附着力131
5-2 薄膜的内应力136
5-3 薄膜的硬度143
5-4 薄膜的磁性能144
习题与思考题149
第六章 半导体薄膜150
6-1 半导体的光激发效应150
6-2 半导体的特征长度及其薄膜的特性153
6-3 单晶和非晶半导体薄膜160
6-4 半导体薄膜特性的测量法161
6-5 半导体薄膜的应用165
6-6 光刻与腐蚀技术168
习题与思考题177
第七章 薄膜的表面与界面179
7-1 表面界面特征与现象179
7-2 吸附机理与吸附膜的形成机理185
7-3 表面扩散与界面扩散191
7-4 界面电气现象194
7-5 界面接触效应197
7-6 薄膜中的电迁移现象203
习题与思考题204
主要参考文献206